Đĩa kẹp chân không
Đĩa kẹp chân không
Đĩa kẹp chân không
+
  • Đĩa kẹp chân không
  • Đĩa kẹp chân không
  • Đĩa kẹp chân không

Đĩa kẹp chân không

Chủ yếu được sử dụng cho các quy trình quan trọng và then chốt trong quy trình trước của chipkqbd hom nay, chẳng hạn như khắc sáng, đo lường, ghép nối và làm nóng lại.

Được đốt kết từ bột cacbua silicon có độ tinh khiết caovua bắn cá, sản phẩm này nổi bật với môđun đàn hồi cao, cấu trúc đồng đều và nhỏ gọn, hệ số giãn nở nhiệt thấp và tuổi thọ dài. Nó đặc biệt phù hợp cho các quy trình kiểm tra tiên tiến đòi hỏi mặt phẳng cực kỳ chính xác cùng số lượng hạt và mức độ ô nhiễm ion kim loại ở mức tối thiểu trên các tấm bán dẫn.

Đường kính 12 inch với độ phẳng toàn phần ≤ 0kqbd hom nay,3 µm và độ phẳng cục bộ ≤ 0,1 µm; bề mặt có thể phủ lớp phủ có độ tinh khiết cao; khả năng thiết kế giá đỡ đa dạng, đủ để xử lý wafer có độ cong lên tới 0,8 mm; đáp ứng đầy đủ yêu cầu về độ sạch trong các quy trình sản xuất hiện đại.