Đĩa kẹp tĩnh điện
Đĩa kẹp tĩnh điện
Đĩa kẹp tĩnh điện
+
  • Đĩa kẹp tĩnh điện
  • Đĩa kẹp tĩnh điện
  • Đĩa kẹp tĩnh điện

Đĩa kẹp tĩnh điện

Chủ yếu được sử dụng cho các quy trình then chốt như khắckqbd hom nay, mạ, tiêm ion, oxy hóa, v.v., trong quy trình sản xuất trước của bán dẫn.

Dựa trên nguyên lý hấp thụ tĩnh điệnvua bắn cá, công nghệ này có khả năng giữ kín đáo và đều đặn các tấm wafer mỏng siêu mịn, nổi bật với đặc tính lực hấp thụ đồng đều, không gây ô nhiễm, không làm hư hại sản phẩm và có thể hoạt động trong môi trường chân không cao.

Chất liệu sử dụng là gốm nhôm oxit (dạng Coulombvua bắn cá, độ tinh khiết 96% hoặc 99,6%), sản phẩm có thể cung cấp kích thước lên đến 12 inch trở xuống, chịu nhiệt độ làm việc từ -30°C đến +180°C; bề mặt gốm có thể được khoan lỗ, tạo hoa văn hoặc điều chỉnh độ nhám theo yêu cầu.