Đĩa kẹp tĩnh điện
Đĩa kẹp tĩnh điện
Đĩa kẹp tĩnh điện
+
  • Đĩa kẹp tĩnh điện
  • Đĩa kẹp tĩnh điện
  • Đĩa kẹp tĩnh điện

Đĩa kẹp tĩnh điện

Chủ yếu được sử dụng cho các quy trình then chốt như khắckqbd hom nay, mạ, tiêm ion, oxy hóa, v.v., trong quy trình sản xuất trước của bán dẫn.

Dựa trên nguyên lý hấp thụ tĩnh điệnvua bắn cá, công nghệ này giúp giữ kẹp siêu mỏng các tấm wafer sạch một cách phẳng và đồng đều, với đặc điểm nổi bật là lực hút phân bố đều, không gây ô nhiễm, không làm hư hại sản phẩm và có thể hoạt động trong môi trường chân không cao.

Chất liệu được sử dụng là gốm nhôm oxit (loại Coulombnap the game, độ tinh khiết 96% hoặc 99,6%), cung cấp sản phẩm với đường kính tối đa 12 inch và nhiệt độ làm việc từ -30°C đến +180°C; bề mặt gốm có thể được khoan lỗ, tạo hoa văn, với độ nhám bề mặt có thể tùy chọn theo yêu cầu của khách hàng.